KFU. Card publication. Применение РФЭС для исследования поверхностей и покрытий, модифицированных плазменным и ионным облучением

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ПРИМЕНЕНИЕ РФЭС ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ И ПОКРЫТИЙ, МОДИФИЦИРОВАННЫХ ПЛАЗМЕННЫМ И ИОННЫМ ОБЛУЧЕНИЕМ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2015

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vakhitov Iskander Rashidovich, author

Gumarov Amir Ildusovich, author

Luchkin Aleksandr Grigorevich, author

Nikitin Nikolay Petrovich, author

Tagirov Lenar Rafgatovich, author

Khaybullin Rustam Ildusovich, author

Yanilkin Igor Vitalevich, author

Bibliographic description in the original language

Vakhitov, I.R. Primenenie RFES dlya issledovaniya poverkhnostey i pokrytiy, modificirovannykh plazmennym i ionnym oblucheniem / I.R. Vakhitov, L.B. Begrambekov, A.I. Gumarov i dr. // Nizkotemperaturnaya plazma v processakh naneseniya funkcionalnykh pokrytiy. VII Vserossiyskaya (s mezhdunarodnym uchastiem) nauchno-tekhnicheskaya konferenciya: sbornik statey. Kazan, 4 – 7 noyabrya 2015. – Kazan: Otechestvo, 2016. –300 s.

Annotation

Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий.

Keywords

РФЭС, элементный анализ, тонкие пленки

The name of the journal

Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий.

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=139191&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vakhitov Iskander Rashidovich	ru_RU
dc.contributor.author	Gumarov Amir Ildusovich	ru_RU
dc.contributor.author	Luchkin Aleksandr Grigorevich	ru_RU
dc.contributor.author	Nikitin Nikolay Petrovich	ru_RU
dc.contributor.author	Tagirov Lenar Rafgatovich	ru_RU
dc.contributor.author	Khaybullin Rustam Ildusovich	ru_RU
dc.contributor.author	Yanilkin Igor Vitalevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2015	ru_RU
dc.identifier.citation	Вахитов, И.Р. Применение РФЭС для исследования поверхностей и покрытий, модифицированных плазменным и ионным облучением / И.Р. Вахитов, Л.Б. Беграмбеков, А.И. Гумаров и др. // Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция: сборник статей. Казань, 4 – 7 ноября 2015. – Казань: Отечество, 2016. –300 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=139191&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий.	ru_RU
dc.description.abstract	Активное развитие новых перспективных направлений нанотехнологий инициирует не только совершенствование современных аналитических методов исследования, но и поиски принципиально новых подходов к их анализу. Одной из важнейших характеристик наноструктуры является ее состав. Метод рентгеновской фотоэлектронноый спектроскопии открывает широкий спектр возможностей изучения элементного, химического и фазового состава ультратонких покрытий и наноструктур	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	РФЭС	ru_RU
dc.subject	элементный анализ	ru_RU
dc.subject	тонкие пленки	ru_RU
dc.title	Применение РФЭС для исследования поверхностей и покрытий, модифицированных плазменным и ионным облучением	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU