KFU. Card publication. Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методом спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов

- RUS
- 中文
- ES

АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ СЕРЕБРА, МЕТОДОМ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ И ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2016

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Bazarov Valeriy Vyacheslavovoich, author

Batalov Rafael Ilyasovich, author

Valeev V F, author

Nuzhdin Vladimir Ivanovich, author

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Bazarov V.V., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Vorobev V.V., Osin Yu.N., Batalov R.I., Stepanov A.L., Analiz poverkhnosti kremniya, implantirovannogo ionami serebra, metodom spektralnoy ellipsometrii i difrakcii otrazhennykh elektronov // Tezisy dokladov VI Vserossiyskoy konferencii i shkoly molodykh uchenykh i specialistov «Fizicheskie i fiziko-khimicheskie osnovy ionnoy implantacii» — Nizhniy Novgorod: NGU im. N.I. Lobachevskogo, 24-27 oktyabrya 2016, S. 27.

Annotation

Тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов ?Физические и физико-химические основы ионной имплантации?

Keywords

эллипсометрия, дифракция отраженных электронов, кристаллическая структура

The name of the journal

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=143177&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
Tezisy_dokladov_FFHOII_2016.pdf	17,51	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Bazarov Valeriy Vyacheslavovoich	ru_RU
dc.contributor.author	Batalov Rafael Ilyasovich	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev V F	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin Vladimir Ivanovich	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Базаров В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Баталов Р.И., Степанов А.Л., Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методом спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов // Тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов «Физические и физико-химические основы ионной имплантации» — Нижний Новгород: НГУ им. Н.И. Лобачевского, 24-27 октября 2016, С. 27.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=143177&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Тезисы докладов VI Всероссийской конференции и школы молодых ученых и специалистов ?Физические и физико-химические основы ионной имплантации?	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	эллипсометрия	ru_RU
dc.subject	дифракция отраженных электронов	ru_RU
dc.subject	кристаллическая структура	ru_RU
dc.title	Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методом спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU