KFU. Card publication. Исследование влияния режимов магнетронного напыления на структурные и плазмонные свойства нитрида титана

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ НА СТРУКТУРНЫЕ И ПЛАЗМОННЫЕ СВОЙСТВА НИТРИДА ТИТАНА

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2017

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vakhitov Iskander Rashidovich, author

Gumarov Amir Ildusovich, author

Nikitin Sergey Ivanovich, author

Salakhov Myakzyum Khalimulovich, author

Tagirov Lenar Rafgatovich, author

Kharincev Sergey Sergeevich, author

Yusupov Roman Valerevich, author

Yanilkin Igor Vitalevich, author

Authors, postgraduates KFU

Kharitonov Anton Viktorovich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Issledovanie vliyaniya rezhimov magnetronnogo napyleniya na strukturnye i plazmonnye svoystva nitrida titana / A.V. Kharitonov [i dr.] // VIII vserossiyskaya (s mezhdunarodnym uchastiem) nauchno-tekhnicheskaya konferenciya;Nizkotemperaturnaya plazma v processakh naneseniya funkcionalnykh pokrytiy : sbornik statey. - Kazan, 2016. - S. 78-83.

Annotation

Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий

Keywords

магнетронное распыление, нитрид титана, плазмонный резонанс, микроскопия комбинационного рассеяния света, тонкие пленки

The name of the journal

Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=152367&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vakhitov Iskander Rashidovich	ru_RU
dc.contributor.author	Gumarov Amir Ildusovich	ru_RU
dc.contributor.author	Nikitin Sergey Ivanovich	ru_RU
dc.contributor.author	Salakhov Myakzyum Khalimulovich	ru_RU
dc.contributor.author	Tagirov Lenar Rafgatovich	ru_RU
dc.contributor.author	Kharincev Sergey Sergeevich	ru_RU
dc.contributor.author	Yusupov Roman Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Yanilkin Igor Vitalevich	ru_RU
dc.contributor.author	Kharitonov Anton Viktorovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Исследование влияния режимов магнетронного напыления на структурные и плазмонные свойства нитрида титана / А.В. Харитонов [и др.] // VIII всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция;Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий : сборник статей. - Казань, 2016. - С. 78-83.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=152367&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	магнетронное распыление	ru_RU
dc.subject	нитрид титана	ru_RU
dc.subject	плазмонный резонанс	ru_RU
dc.subject	микроскопия комбинационного рассеяния света	ru_RU
dc.subject	тонкие пленки	ru_RU
dc.title	Исследование влияния режимов магнетронного напыления на структурные и плазмонные свойства нитрида титана	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU