KFU. Card publication. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых слоев имплантированных ионами серебра

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ КРЕМНИЕВЫХ СЛОЕВ ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ СЕРЕБРА

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2017

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Rogov Aleksey Mikhaylovich, author

Other authors

Stepanov Andrey Lvovich, author

Bibliographic description in the original language

Rogov A.M. Skaniruyushhaya zondovaya mikroskopiya kremnievykh sloev implantirovannykh ionami serebra / A.M. Rogov, V.V. Vorobev, Yu.N. Osin, V.I. Nuzhdin, V.F. Valeev, A.L. Stepanov// Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference. - 2017. - s. 115-116

Annotation

Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference

Keywords

Атомно-силовая микроскопия, сканирующая электронная микроскопия, пористые полупроводниковые материалы

The name of the journal

Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference

URL

https://nanocenter.urfu.ru/ru/spm2017/%D1%82%D0%B5%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%8B

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=162734&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Rogov Aleksey Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Рогов А.М. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых слоев имплантированных ионами серебра / А.М. Рогов, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, А.Л. Степанов// Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference. - 2017. - с. 115-116	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=162734&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference	ru_RU
dc.description.abstract	Описан способ формирования нанопористого кремния на поверхности монокристаллического Si при имплантации ионами Ag+. Методами СЗМ и СЭМ показано, что в результате на поверхности Si формируются аморфные слои нанопористого кремния со средними размерами пор ~130 нм, в структуре которых синтезируются наночастицы Ag диаметром от 5 до 20 нм.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Атомно-силовая микроскопия	ru_RU
dc.subject	сканирующая электронная микроскопия	ru_RU
dc.subject	пористые полупроводниковые материалы	ru_RU
dc.title	Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых слоев имплантированных ионами серебра	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU