KFU. Card publication. Микроскопия периодически - структурированных слоев сформированных ионной имплантацией

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

МИКРОСКОПИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИ - СТРУКТУРИРОВАННЫХ СЛОЕВ СФОРМИРОВАННЫХ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2017

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Evtyugin Vladimir Gennadevich, author

Morozova Anna Sergeevna, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Rogov Aleksey Mikhaylovich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Nuzhdin V. I., author

Bibliographic description in the original language

Morozova A.S. Mikroskopiya periodicheski - strukturirovannykh sloev sformirovannykh ionnoy implantaciey / A.S. Morozova, A.M. Rogov, V.V. Vorobev, V.G. Evtyugin, Yu.N. Osin, V.I. Nuzhdin, V.F. Valeev, A.L. Stepanov// Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference. - 2017. - s. 112 - 113

Annotation

Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference

Keywords

Атомно-силовая микроскопия, сканирующая электронная микроскопия, пористые полупроводниковые материалы, ионная имплатнация

The name of the journal

Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference

URL

https://nanocenter.urfu.ru/sites/default/files/%21SPM-2017%20Abstract%20book.pdf

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=162738&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Evtyugin Vladimir Gennadevich	ru_RU
dc.contributor.author	Morozova Anna Sergeevna	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Rogov Aleksey Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin V. I.	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Морозова А.С. Микроскопия периодически - структурированных слоев сформированных ионной имплантацией / А.С. Морозова, А.М. Рогов, В.В. Воробьев, В.Г. Евтюгин, Ю.Н. Осин, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, А.Л. Степанов// Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference. - 2017. - с. 112 - 113	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=162738&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference	ru_RU
dc.description.abstract	Описан способ получения структурированного композиционного материала на подложке из халькогенидного стекла (GeSe) при имплантации ионами Ag+. Методами СЗМ и СЭМ показано, что в результате на поверхности GeSe образуется дифракционная решетка с периодом ~ 25 мкм и высотой ступенек ~ 170-200 нм.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Атомно-силовая микроскопия	ru_RU
dc.subject	сканирующая электронная микроскопия	ru_RU
dc.subject	пористые полупроводниковые материалы	ru_RU
dc.subject	ионная имплатнация	ru_RU
dc.title	Микроскопия периодически - структурированных слоев сформированных ионной имплантацией	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU