KFU. Card publication. ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ И ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ И ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2020

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Rogov Aleksey Mikhaylovich, author

Tagirov Lenar Rafgatovich, author

Bibliographic description in the original language

Vorobev V.V. ISSLEDOVANIE MORFOLOGII POVERKhNOSTI I KhIMIChESKOGO SOSTAVA KREMNIYa, IMPLANTIROVANNOGO IONAMI MEDI / V.V. Vorobev, A.I. Gumarov, L.R. Tagirov, A.M. Rogov // zhurnal tekhnicheskoy fiziki. - 2020. - №10. -S. 1715-1723

Annotation

Журнал технической физики

Keywords

HIGH-DOSE ION IMPLANTATION, COPPER NANOPARTICLES, COPPER SILICIDE

The name of the journal

Журнал технической физики

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=242477&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Rogov Aleksey Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Tagirov Lenar Rafgatovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2020	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В. ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ И ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ / В.В. Воробьев, А.И. Гумаров, Л.Р. Тагиров, А.М. Рогов // журнал технической физики. - 2020. - №10. -С. 1715-1723	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=242477&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Журнал технической физики	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	HIGH-DOSE ION IMPLANTATION	ru_RU
dc.subject	COPPER NANOPARTICLES	ru_RU
dc.subject	COPPER SILICIDE	ru_RU
dc.title	ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ И ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU