KFU. Card publication. И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.В. Красина, И.Р. Сагбиев, Р.Ф. Шарафеев. Влияние геометрии поверхности образца на режим обработки высокочастотной плазмой пониженного давления // Матер. междунар. конф. 'Физ. высокочастот. разрядов', Казань, 5-8.04.2011. - Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2011.

- RUS
- 中文
- ES

И.Ш. АБДУЛЛИН, В.С. ЖЕЛТУХИН, И.В. КРАСИНА, И.Р. САГБИЕВ, Р.Ф. ШАРАФЕЕВ. ВЛИЯНИЕ ГЕОМЕТРИИ ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦА НА РЕЖИМ ОБРАБОТКИ ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМОЙ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ // МАТЕР. МЕЖДУНАР. КОНФ. 'ФИЗ. ВЫСОКОЧАСТОТ. РАЗРЯДОВ', КАЗАНЬ, 5-8.04.2011. - КАЗАНЬ: ИЗД-ВО КАЗАН. ГОС. ТЕХНОЛ. УН-ТА, 2011. - С. 107-109

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2011

Authors, employees of KFU

Zheltukhin Viktor Semenovich, author

Other authors

I.Sh. Abdullin, I.V. Krasina, I.R. Sagbiev, R.F. Sharafeev

Bibliographic description in the original language

I.Sh. Abdullin, V.S. Zheltukhin, I.V. Krasina, I.R. Sagbiev, R.F. Sharafeev. Vliyanie geometrii poverkhnosti obrazca na rezhim obrabotki vysokochastotnoy plazmoy ponizhennogo davleniya // Mater. mezhdunar. konf. "Fiz. vysokochastot. razryadov", Kazan, 5-8.04.2011. - Kazan: Izd-vo Kazan. gos. tekhnol. un-ta, 2011. - S. 107-109

Annotation

Матер. Междунар. конф.

Place of publication

Казань

The name of the journal

Матер. Междунар. конф.

Publishing house

Казан. гос. технол. ун-т

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=30843&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Zheltukhin Viktor Semenovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2011-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2011-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2011	ru_RU
dc.identifier.citation	И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.В. Красина, И.Р. Сагбиев, Р.Ф. Шарафеев. Влияние геометрии поверхности образца на режим обработки высокочастотной плазмой пониженного давления // Матер. междунар. конф. "Физ. высокочастот. разрядов", Казань, 5-8.04.2011. - Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2011. - С. 107-109	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=30843&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Матер. Междунар. конф.	ru_RU
dc.description.abstract	Матер. Междунар. конф.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Казан. гос. технол. ун-т	ru_RU
dc.title	И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.В. Красина, И.Р. Сагбиев, Р.Ф. Шарафеев. Влияние геометрии поверхности образца на режим обработки высокочастотной плазмой пониженного давления // Матер. междунар. конф. "Физ. высокочастот. разрядов", Казань, 5-8.04.2011. - Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2011. - С. 107-109	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU