KFU. Card publication. Плазменная антеннана основе тлеющего разряда: моделирование и эксперимент

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ПЛАЗМЕННАЯ АНТЕННАНА ОСНОВЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА: МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2025

Authors, employees of KFU

Zheltukhin Viktor Semenovich, author

Kiselev Gleb Borisovich, author

Authors, postgraduates KFU

Savin Aleksey Yurevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Kiselev G.B. Plazmennaya antennana osnove tleyushhego razryada: modelirovanie i eksperiment / G.B. Kiselev, A.Yu. Savin, V.S. Zheltukhin // Nizkotemperaturnaya plazma v processakh naneseniyafunkcionalnykh pokrytiy. Sb. statey XVII Mezhdunarodnoy nauchno-tekhnicheskoy konferencii (Kazan, 1-4 oktyabrya 2025 g.) / Akademiya nauk Respubliki Tatarstan. - Kazan, 2025. - S. 70-74.

Annotation

Представлены результаты комплексного исследования неинвазивного метода измерения электронной плотности в приповерхностном слое тлеющего разряда на основе резонанса поверхностных стоячих электромагнитных волн. Для валидации метода использована оптическая эмиссионная спектроскопия и разработана упрощенная двумерная гидродинамическая модель плазмы в COMSOL Multiphysics. Показано, что измеренная электронная плотность на поверхности плазменного столба имеет порядок 10¹³ м -³ и демонстрирует рост с увеличением мощности.

Keywords

плазменная диагностика, тлеющий разряд, диагностика стоячими волнами, измерение электронной плотности, COMSOL Multiphysics, плазменная антенна, оптическая эмиссионная спектроскопия.

Place of publication

Казань

Publishing house

Издательство АН РТ

URL

https://kpfu.ru/portal/docs/F_122732318/NTP.2025.pdf

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=323943&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Zheltukhin Viktor Semenovich	ru_RU
dc.contributor.author	Kiselev Gleb Borisovich	ru_RU
dc.contributor.author	Savin Aleksey Yurevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2025-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2025-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2025	ru_RU
dc.identifier.citation	Киселев Г.Б. Плазменная антеннана основе тлеющего разряда: моделирование и эксперимент / Г.Б. Киселев, А.Ю. Савин, В.С. Желтухин // Низкотемпературная плазма в процессах нанесенияфункциональных покрытий. Сб. статей XVII Международной научно-технической конференции (Казань, 1-4 октября 2025 г.) / Академия наук Республики Татарстан. - Казань, 2025. - С. 70-74.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=323943&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Представлены результаты комплексного исследования неинвазивного метода измерения электронной плотности в приповерхностном слое тлеющего разряда на основе резонанса поверхностных стоячих электромагнитных волн. Для валидации метода использована оптическая эмиссионная спектроскопия и разработана упрощенная двумерная гидродинамическая модель плазмы в COMSOL Multiphysics. Показано, что измеренная электронная плотность на поверхности плазменного столба имеет порядок 10¹³ м -³ и демонстрирует рост с увеличением мощности.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Издательство АН РТ	ru_RU
dc.subject	плазменная диагностика	ru_RU
dc.subject	тлеющий разряд	ru_RU
dc.subject	диагностика стоячими волнами	ru_RU
dc.subject	измерение электронной плотности	ru_RU
dc.subject	COMSOL Multiphysics	ru_RU
dc.subject	плазменная антенна	ru_RU
dc.subject	оптическая эмиссионная спектроскопия.	ru_RU
dc.title	Плазменная антеннана основе тлеющего разряда: моделирование и эксперимент	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU