KFU. Card publication. Получение пленок заданных оптических характеристик путем контроля степени поляризации отраженного излучения от материала, полученного путем распыления мишени в плазме тлеющего разряда

- RUS
- 中文
- ES

ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК ЗАДАННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПУТЕМ КОНТРОЛЯ СТЕПЕНИ ПОЛЯРИЗАЦИИ ОТРАЖЕННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ОТ МАТЕРИАЛА, ПОЛУЧЕННОГО ПУТЕМ РАСПЫЛЕНИЯ МИШЕНИ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2013

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Israfilov Danis Irekovich, author

Bibliographic description in the original language

Poluchenie plenok zadannykh opticheskikh kharakteristik putem kontrolya stepeni polyarizacii otrazhennogo izlucheniya ot materiala, poluchennogo putem raspyleniya misheni v plazme tleyushhego razryada./Israfilov D.I., Chernova M.A., Nugumanova A.I.//Nauchno-tekhnicheskaya konferenciya «Nizkotemperaturnaya plazma v processakh naneseniya funkcionalnykh pokrytiy» 2013

Annotation

Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий? 2013

Keywords

вакуум, система управления, тлеющий разряд

The name of the journal

Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий? 2013

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=75184&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Israfilov Danis Irekovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2013	ru_RU
dc.identifier.citation	Получение пленок заданных оптических характеристик путем контроля степени поляризации отраженного излучения от материала, полученного путем распыления мишени в плазме тлеющего разряда./Исрафилов Д.И., Чернова М.А., Нугуманова А.И.//Научно-техническая конференция «Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий» 2013	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=75184&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий? 2013	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	вакуум	ru_RU
dc.subject	система управления	ru_RU
dc.subject	тлеющий разряд	ru_RU
dc.title	Получение пленок заданных оптических характеристик путем контроля степени поляризации отраженного излучения от материала, полученного путем распыления мишени в плазме тлеющего разряда	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU