KFU. Card publication. Исследование оптических свойств ZnO и Al2O3, имплантированных ионами серебра

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ZNO И AL2O3, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ СЕРЕБРА

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2014

Authors, employees of KFU

Valeev Valeriy Ferdinandovich, author

Gumarov Amir Ildusovich, author

Lyadov Nikolay Mikhaylovich, author

Nuzhdin Vladimir Ivanovich, author

Fayzrakhmanov Ildar Abdulkabirovich, author

Other authors

V.V. Bazarov

Bibliographic description in the original language

Lyadov N.M. Issledovanie opticheskikh svoystv ZnO i Al2O3, implantirovannykh ionami serebra [Tekst] / N.M. Lyadov, A.I. Gumarov, V.F. Valeev, V.I. Nuzhdin, V.V. Bazarov, I.A. Fayzrakhmanov // Zhurn. tekh. fiz.. 2014. T. 84, vyp. 5. S. 62-65.

Annotation

Методом оптической фотометрии в видимой области спектра проведены исследования образцов Al2O3 и ZnO, облученных ионами серебра с энергией 30 keV в широком интервале доз (0.25−1) ? 10^17 ion/cm^2. Установлено, что на спектрах оптического пропускания облученных образцов появляется селективная полоса поверхностного плазмонного резонансного поглощения наночастиц серебра, интенсивность которой немонотонно зависит от дозы облучения. Проведены теоретические расчеты распределения ионов серебра по глубине в исследованных образцах. Показано, что наблюдаемая в эксперименте немонотонность обусловлена увеличением коэффициента распыления подложки с ростом дозы облучения. Установлено, что термический отжиг в вакууме имплантированных слоев Al2O3 до температур 700◦С ведет к заметному уменьшению ширины полосы плазмонного поглощения без существенного изменения ее интенсивности...

Keywords

Ионная имплантация, Оксид цинка, ZnO, Корунд, Al2O3, Ионы серебра, тонкая пленка

URL

http://journals.ioffe.ru/jtf/2014/05/p62-65.pdf

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=78842&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Valeev Valeriy Ferdinandovich	ru_RU
dc.contributor.author	Gumarov Amir Ildusovich	ru_RU
dc.contributor.author	Lyadov Nikolay Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin Vladimir Ivanovich	ru_RU
dc.contributor.author	Fayzrakhmanov Ildar Abdulkabirovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2014	ru_RU
dc.identifier.citation	Лядов Н.М. Исследование оптических свойств ZnO и Al2O3, имплантированных ионами серебра [Текст] / Н.М. Лядов, А.И. Гумаров, В.Ф. Валеев, В.И. Нуждин, В.В. Базаров, И.А. Файзрахманов // Журн. тех. физ.. 2014. Т. 84, вып. 5. С. 62-65.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=78842&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Методом оптической фотометрии в видимой области спектра проведены исследования образцов Al2O3 и ZnO, облученных ионами серебра с энергией 30 keV в широком интервале доз (0.25−1) ? 10^17 ion/cm^2. Установлено, что на спектрах оптического пропускания облученных образцов появляется селективная полоса поверхностного плазмонного резонансного поглощения наночастиц серебра, интенсивность которой немонотонно зависит от дозы облучения. Проведены теоретические расчеты распределения ионов серебра по глубине в исследованных образцах. Показано, что наблюдаемая в эксперименте немонотонность обусловлена увеличением коэффициента распыления подложки с ростом дозы облучения. Установлено, что термический отжиг в вакууме имплантированных слоев Al2O3 до температур 700◦С ведет к заметному уменьшению ширины полосы плазмонного поглощения без существенного изменения ее интенсивности...	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	Оксид цинка	ru_RU
dc.subject	ZnO	ru_RU
dc.subject	Корунд	ru_RU
dc.subject	Al2O3	ru_RU
dc.subject	Ионы серебра	ru_RU
dc.subject	тонкая пленка	ru_RU
dc.title	Исследование оптических свойств ZnO и Al2O3, имплантированных ионами серебра	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU