KFU. Card publication. Локальный анализ структуры поверхности нанопористого кремния, синтезированного методом ионной имплантации

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ЛОКАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, СИНТЕЗИРОВАННОГО МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2014

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Galeev Akhmet Askhatovich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Vorobev V.V., Stepanov A.L., Galeev A.A., Osin Yu.N. Lokalnyy analiz struktury poverkhnosti nanoporistogo kremniya, sintezirovannogo metodom ionnoy implantacii// Sbornik tezisov dokladov XKhV-ya Rossiyskoy konferencii po elektronnoy mikroskopii. – Chernogolovka, 2014. – T. 1, - S. 76-77.

Annotation

XХV-я Российская конференция по электронной микроскопии (РКЭМ-2014) и 2-я Школа молодых ученых "Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях наноструктур и наноматериалов"

Keywords

Наночастицы, нанопоры, пористый кремний, дифракция обратно рассеянных электронов.

The name of the journal

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=85162&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Galeev Akhmet Askhatovich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2014	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В., Степанов А.Л., Галеев А.А., Осин Ю.Н. Локальный анализ структуры поверхности нанопористого кремния, синтезированного методом ионной имплантации// Сборник тезисов докладов XХV-я Российской конференции по электронной микроскопии. – Черноголовка, 2014. – Т. 1, - С. 76-77.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=85162&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	XХV-я Российская конференция по электронной микроскопии (РКЭМ-2014) и 2-я Школа молодых ученых "Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях наноструктур и наноматериалов"	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Наночастицы	ru_RU
dc.subject	нанопоры	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	дифракция обратно рассеянных электронов.	ru_RU
dc.title	Локальный анализ структуры поверхности нанопористого кремния, синтезированного методом ионной имплантации	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU