KFU. Card publication. Моделирование газодинамического истечения свободно расширяющейся газовой струи в пространство с пониженным давлением фона

- RUS
- 中文
- ES

МОДЕЛИРОВАНИЕ ГАЗОДИНАМИЧЕСКОГО ИСТЕЧЕНИЯ СВОБОДНО РАСШИРЯЮЩЕЙСЯ ГАЗОВОЙ СТРУИ В ПРОСТРАНСТВО С ПОНИЖЕННЫМ ДАВЛЕНИЕМ ФОНА

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2014

Authors, employees of KFU

Shemakhin Aleksandr Yurevich, author

Other authors

Ctrunin V.I.; Khudaybergenov G.Zh.; Zheltukhin V.S.

Bibliographic description in the original language

Ctrunin V.I., Khudaybergenov G.Zh., Shemakhin A.Yu., Zheltukhin V.S. Modelirovanie gazodinamicheskogo istecheniya svobodno rasshiryayushheysya gazovoy strui v prostranstvo s ponizhennym davleniem fona. Vestnik Omskogo universiteta. 2014. № 2 (72). S. 53-58.

Annotation

Вестник Омского университета. . № 2 (72). С. 53-58.

Keywords

SILANE ARGON PLASMA, RF GLOW DISCHARGE, AMORPHOUS SILICON, PECVD, PLASMA JETS, MATHEMATICAL MODELING, STATISTICAL MODELING, АРГОН-СИЛАНОВАЯ ПЛАЗМА, ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД, ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД, ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ, ПЛАЗМЕННЫЕ СТРУИ, МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

The name of the journal

Вестник Омского университета

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=86956&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Shemakhin Aleksandr Yurevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2014	ru_RU
dc.identifier.citation	Cтрунин В.И., Худайбергенов Г.Ж., Шемахин А.Ю., Желтухин В.С. Моделирование газодинамического истечения свободно расширяющейся газовой струи в пространство с пониженным давлением фона. Вестник Омского университета. 2014. № 2 (72). С. 53-58.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=86956&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Вестник Омского университета	ru_RU
dc.description.abstract	Вестник Омского университета. . № 2 (72). С. 53-58.	ru_RU
dc.description.abstract	Описана математическая модель струйного течения ВЧ-плазмы в переходном режиме при числах Кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для расхода газа Q = 10 ст. см 3/c. Модель построена на основе статистического подхода для нейтральной компоненты ВЧ-плазмы c учетом влияния распределенного по объему источника тепла. Приведены результаты расчета течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы при наличии в струе образца в первом приближении с учетом распределенного по объему источника тепла	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	SILANE ARGON PLASMA	ru_RU
dc.subject	RF GLOW DISCHARGE	ru_RU
dc.subject	AMORPHOUS SILICON	ru_RU
dc.subject	PECVD	ru_RU
dc.subject	PLASMA JETS	ru_RU
dc.subject	MATHEMATICAL MODELING	ru_RU
dc.subject	STATISTICAL MODELING	ru_RU
dc.subject	АРГОН-СИЛАНОВАЯ ПЛАЗМА	ru_RU
dc.subject	ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД	ru_RU
dc.subject	ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД	ru_RU
dc.subject	ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК	ru_RU
dc.subject	ТОНКИЕ ПЛЕНКИ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ	ru_RU
dc.subject	ПЛАЗМЕННЫЕ СТРУИ	ru_RU
dc.subject	МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ	ru_RU
dc.subject	СТАТИСТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ	ru_RU
dc.title	Моделирование газодинамического истечения свободно расширяющейся газовой струи в пространство с пониженным давлением фона	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU