KFU. Card publication. Исследование процесса напыления многослойных пленок в тлеющем разряде с использованием магнитного поля

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПЛЕНОК В ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МАГНИТНОГО ПОЛЯ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2014

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Israfilov Danis Irekovich, author

Bibliographic description in the original language

Timerkaev B.A. Issledovanie processa napyleniya mnogosloynykh plenok v tleyushhem razryade s ispolzovaniem magnitnogo polya/Timerkaev B.A., Galeev I.G., Asadullin T.Ya., Israfilov D.I.// Poisk effektivnykh resheniy v processe sozdaniya i realizacii nauchnykh razrabotok v rossiyskoy aviacionnoy i raketno-kosmicheskoy promyshlennosti: Mezhdunarodnaya nauchno-prakticheskaya konferenciya, 5 – 8 avgusta 2014 g.: sbornik dokladov. Tom II. – Kazan: Izd-vo Kazan. gos. tekhn. un-ta, 2014. –Str. 40-41

Annotation

Поиск эффективных решений в процессе создания и реализации научных разработок в российской авиационной и ракетно-космической промышленности: Международная научно-практическая конференция

Keywords

тлеющий разряд, напыление

The name of the journal

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=91215&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Israfilov Danis Irekovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2014	ru_RU
dc.identifier.citation	Тимеркаев Б.А. Исследование процесса напыления многослойных пленок в тлеющем разряде с использованием магнитного поля/Тимеркаев Б.А., Галеев И.Г., Асадуллин Т.Я., Исрафилов Д.И.// Поиск эффективных решений в процессе создания и реализации научных разработок в российской авиационной и ракетно-космической промышленности: Международная научно-практическая конференция, 5 – 8 августа 2014 г.: сборник докладов. Том II. – Казань: Изд-во Казан. гос. техн. ун-та, 2014. –Стр. 40-41	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=91215&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Поиск эффективных решений в процессе создания и реализации научных разработок в российской авиационной и ракетно-космической промышленности: Международная научно-практическая конференция	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	тлеющий разряд	ru_RU
dc.subject	напыление	ru_RU
dc.title	Исследование процесса напыления многослойных пленок в тлеющем разряде с использованием магнитного поля	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU