KFU. Card publication. Получение нанопористого кремния методом ионной имплантации

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ПОЛУЧЕНИЕ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2014

Authors, employees of KFU

Bukharaev Anastas Akhmetovich, author

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Lebedev Denis Vladimirovich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Nuzhdin V. I.; Valeev V. F.;Evlyukhin A. B.

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Stepanov A. L., Nuzhdin V. I., Valeev V. F., Lebedev D. V., Bukharaev A. A., Vorobev V. V., Osin Yu. N., Evlyukhin A. B. Poluchenie nanoporistogo kremniya metodom ionnoy implantacii// Materialy devyatoy mezhdunarodnoy nauchnoy shkoly «Nauka i innovacii-2014» Iss «si-2014» – Yoshkar-ola: Povolzhskiy gosudarstvennyy tekhnologicheskiy universitet, 2014. – c. 79-87.

Keywords

пористый кремний, ионная имплантация, наночастицы

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=93238&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Bukharaev Anastas Akhmetovich	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Lebedev Denis Vladimirovich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2014	ru_RU
dc.identifier.citation	Степанов А. Л., Нуждин В. И., Валеев В. Ф., Лебедев Д. В., Бухараев А. А., Воробьев В. В., Осин Ю. Н., Евлюхин А. Б. Получение нанопористого кремния методом ионной имплантации// Материалы девятой международной научной школы «Наука и инновации-2014» Iss «si-2014» – Йошкар-ола: Поволжский государственный технологический университет, 2014. – c. 79-87.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=93238&p_lang=2	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	наночастицы	ru_RU
dc.title	Получение нанопористого кремния методом ионной имплантации	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU